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松下とルネサス、45nmシステムLSIプロセス開発作業に液浸ArFスキャナーを導入

ニューズフロント2006年08月03日 15時43分
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 松下電器産業とルネサステクノロジは8月3日、45nmノード対応のシステムLSI製造プロセス共同開発活動において、液浸ArFスキャナーによるフルインテグレーション作業を始めたと発表した。両社は、歪みシリコンによる高移動度トランジスタや、比誘電率2.4という低誘電率(ELK)多層配線モジュールなどの開発にも取り組んでいる。

 両社は、1998年にプロセス技術の共同開発に着手し、2005年10月より第5次の活動として、45nmシステムLSIプロセスの開発を行ってきた。

 今回導入した液浸ArFスキャナーについて、両社は「ロジックLSI用としては、業界で初めて開口率(NA)が1を超えた」としている。フルインテグレーション作業では、すべてのウエハプロセスを一貫して処理するため、開発活動が「本格的な生産技術開発の段階に入った」(両社)ことになる。

 両社では、2007年度のなかばに開発を完了させ、2008年度の量産開始を目指す。

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