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ライカマイクロシステムズが、SEM用試料コーティング装置 ライカ EM ACE600を発売。

ライカ マイクロシステムズ株式会社 2013年11月29日 15時00分
From Digital PR Platform


2013年11月29日

ライカ マイクロシステムズ株式会社(社長:上野 隆、東京都港区)は、高真空多機能コーティング装置 ライカ EM ACE600の販売を開始しました。

走査型電子顕微鏡(SEM)による二次電子像観察(主に試料表面の凹凸構造を観察)や反射電子像観察(主に試料の組成分布や結晶構造を観察)において、試料が絶縁体の場合、チャージアップによる像障害が発生し、目的とする観察が行えないことがあります。その場合、試料の表面に導電性コーティングを施し、チャージアップの発生を防止することが有効です。

しかし、コーティング膜で試料表面を覆うことで、微細な形状やサイズの変化を起こしたり、組成情報などを消失するおそれがあるため、導電性コーティングでは薄く粒状性の高い(膜の海島構造が見えない)膜が求められます。
その需要に応えるために、ライカマイクロシステムズは、高真空多機能コーター ライカ EM ACE600を開発致しました。
ライカ EM ACE600では、QSG(水晶振動子による膜厚モニター)のもと、ナノメーター単位の厚みで金属のコーティングを試料に施すことにより、絶縁性試料の微細形状を損なうことなく、SEM観察を容易にします。
また、カーボンのコーティング(SEM-EDS/EDXまたはEPMA分析向けのスレッド蒸着や透過電子顕微鏡(TEM)試料向けのロッド蒸着)もQSGにより、ナノメーター設定で蒸着膜が成膜できるため、高精細な元素マッピングの取得や安定したTEM観察を助けます。
ライカ EM ACE600は、精密な膜厚制御の導電性コーティングをタッチパネルのわかりやすいインターフェースで行うことができます。従来のコーティング装置に比べ、誰でも簡単に再現性良く、薄く均質で高い粒状性の導電性コーティング層を成膜できます。

また、ライカ EM ACE600は、高い拡張性を持ち、数々のオプションとの組み合わせでさまざまなアプリケーションに対応します。 真空クライオトランスファーシステム ライカ EM VCT100とのコンビネーションもその一つ。リチウム電池や触媒などの、大気非暴露状態を必要とする試料や、硝子様凍結した生体材料やエマルジョンなどの含水材料のフリーズフラクチャ(凍結割断)などのコーティングにも最適です。クライオ状態でも、常温と同様のコーティング精度を発揮します。


【価格】
高真空コーティング装置 ライカ EM ACE600 
9,795,000円 ~(税別)
真空クライオトランスファーシステム ライカ EM VCT100 
10,370,600円 ~(税別)

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