北米の半導体機器メーカー各社の3月の受注高は2月から改善したものの、業界の健全性測定の指標となる出荷受注比率は依然低いことが、米業界団体の国際半導体製造装置材料協会（SEMI）が17日に発表した調査結果で明らかになった。3月の業界全体の受注額は8億2300万ドルで2月の7億6060万ドルから上昇したが、同月の出荷受注比率は0.99対1で、業界の健全性を示すための最低基準である1対1をやや下回った。
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