大型精密空調ユニット『THERMAL CUBE TERRA〈サーマルキューブ テッラ〉』新発売

ー 新冷媒（R32）※1採用で環境負荷を大きく軽減しつつ、大風量を実現 ー

日本スピンドル製造株式会社は、世界が目標に定めるカーボンニュートラルの時代を見据え、大型精密空調ユニットでは業界初となる、低GWP値（地球温暖化係数）※2の新冷媒（R32）を採用した『THERMAL CUBE TERRA〈サーマルキューブ テッラ〉』シリーズを5月より発売します。



　半導体や電子部品の製造、超精密加工など、ナノスケールやサブミクロンの精度が要求される製造現場では、温度や湿度を極めてシビアにコントロールできる恒温恒湿空間の構築が不可欠であり、その実現のために高精度な精密空調設備が広く活用されています。

　一方、持続可能な社会の実現に向け、地球温暖化につながる温室効果ガスの排出規制が世界で拡大・加速する中、精密空調の分野においても、環境負荷軽減効果に優れた低GWP冷媒への転換は早急に取り組むべき課題です。

　『THERMAL CUBE TERRA〈サーマルキューブ テッラ〉』は最大100㎥/minの大風量を備える大型精密空調機として、業界に先駆け新冷媒（R32）を採用した先進の製品です。より大型の恒温ブース構築に対応する空調能力を確保し、生産性向上を図るとともに、従来の冷媒と比べてGWP値（地球温暖化係数）が約60％以上減※3となる、地球温暖化への影響が少ない新媒体（R32）を採用することで、サステイナブルな社会の実現にも貢献します。

※1:設備用大型精密空調機カテゴリーにおいて（自社調べ）。
※2:どれだけの温室効果があるのかについてCO2を1（基準）として表した値。
※3: R407CとのGWP比較に基づく値。


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■開発背景
　1997年に採択された「京都議定書」並びに2016年に採択された「キガリ改正」では、温室効果ガスの排出抑制対策が盛り込まれ、経済産業省より地球温暖化対策における施策が示されました。空調機の冷媒として使用されるハイドロフルオロカーボン類については、二酸化炭素換算での排出量を2013年度比で2030年度に32％減、2050年度には100％減とする削減目標が設定されています。

　このような状況下、精密空調機製造メーカーである当社では低GWP冷媒を使用した製品の拡充を重要なミッションと捉え、主力商品のひとつである「サーマルキューブ（TC）」シリーズでの実現に向け開発を進めてまいりました。

　すでに市場には低GWP冷媒を採用する精密空調機が流通していますが、現時点では風量の小さな製品に限られていることから、大型精密空調機への採用が待望されています。

　そこで、『THERMAL CUBE TERRA〈サーマルキューブ テッラ〉』シリーズでは、最大100㎥/minの大風量を有する大型精密空調機として初めて、R32冷媒を採用。さらには、スマートな機器操作と管理を実現するカラータッチパネル＆UIを実装するなど、現代の社会環境やお客様ニーズを満たす製品として完成度を究めました。

■製品の特長

１．新冷媒（R32）×大風量
新冷媒（R32）採用により地球温暖化への影響を抑制しつつ、最大100㎥/minの大風量を確保することで、より大きな恒温空間の構築に対応します。
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２．ガス検知器搭載
微燃性冷媒であるR32の漏えいを検知しアラートで知らせる、ガス検知器を搭載しています。

３．省エネルギー・省スペース設計
高効率省エネモータ搭載送風機の採用により、消費電力の低減を図っています。また、設置スペースは当社従来機と同等のため、低GWP冷媒採用の空調機へ置き換えをスムーズに実現できます。

４．カラータッチパネル採用
ボタンやデータの視認性に優れ、直感的なタッチ操作を実現するカラータッチパネルを採用。各パラメータのワンタッチ入力およびUSBメモリへの出力、ガス漏洩検知等の異常履歴の一括管理など、オペレーションやモニタリングがスマートに行えます。

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■対象分野・用途
・半導体分野（露光・塗布・マスク描画装置向け等）
・電子部品分野（基盤の印刷）
・超精密加工分野
・超精密測定・計測分野

■商品仕様
型式： TCD-1004WTC（THERMAL CUBE TERRA）
使用冷媒： R32
処理風量： 100㎥/min（最大）
冷却方式： 水冷式
温度制御精度： ±0.1℃
冷却水温度範囲： 15～32℃
安全対策： ガス検知器、冷媒高圧/低圧センサー、各種ブレーカー　他搭載


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■発売時期
2022年5月より、順次販売を開始いたします。


■お問い合わせ先（お客様／報道機関共通）
日本スピンドル製造株式会社 　空調・冷熱事業部
〒661-8510
兵庫県尼崎市潮江4-2-30
TEL. (06)6499-5559
E-mail chihiro.arima@shi-g.com

担当者：有馬


このニュースリリースに掲載の情報は発売日現在のものです。
記載の内容は予告なく変更されることがあります。あらかじめご了承ください。




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