光コム方式の三次元形状測定器「OPTED」を販売開始

～たった数十秒で大型部品のミクロン測定が可能に～

東京エレクトロン デバイス株式会社(本社：横浜市神奈川区、代表取締役社長：徳重 敦之　以下、TED）は、株式会社光コム(本社：東京都千代田区、代表取締役社長：福沢 博志　以下、光コム社)と共同開発した光コム方式の三次元形状測定器「OPTED」の販売を2016年6月16日に開始します。　



　
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【背景】
近年、精密加工部品の設計・製造現場における形状測定の効率化ニーズに対して、光学技術を応用した様々な方式の非接触式三次元測定器の導入が急速に進められていますが、いずれの方式も、精度(再現性)、範囲(深度)、速度(形状依存性)などの性能面で一長一短という状況が続いていました。
この度、販売を開始する三次元形状測定器「OPTED」は、光源に「最も精確な光のものさし」として知られる光コムを採用することで、これらの課題を一気に解決する画期的な製品です。

【特長】
対象物の形状に関係なく、常に高速測定
従来方式のように、対象物からの反射光や干渉光が最大強度となるポイントを得るためのレンズやミラー、ステージの移動といった機械的な操作を一切行わず、電気的な処理だけで高さ寸法を高精度に数値化できることから、対象物の形状に関係なく常に高速な測定が可能となります。
例えば、測定エリアが200mm四方を超えるような対象物に対しても、数十秒で測定が完了します。

●大型・立体部品の凹凸にも対応
高深度タイプとしてラインナップしている「OPTED-L80」は、300mm四方までの横軸エリアに対応するロボットステージに加えて、高さ方向の測定深度の範囲が最大で130mmと従来製品の10倍程度にまで広がり、これまで一括測定が不可能であったような凹凸度合いの大きい立体形状物にも対応できます。また、ワーキングディスタンス（測定ヘッド先端から対象物までの距離）が140mm確保できることから、測定条件や障害物などの要因で測定ポイントに測定ヘッドを近づけられないような状況にも適用の可能性が広がります。

●インライン測定の組み込みにも柔軟に対応
本装置のコアユニットである光源部に対して、測定ヘッドを最大8個まで増設可能なことから、測定ヘッドを並列に増設してスキャン幅を拡張することによる更なる高速化や、多軸化による測定視野の追加といった機能アップを容易に実現することが可能です。
また、測定ユニット、測定ヘッド、ロボットステージがそれぞれ独立しているため、スタンドアロン型に留まらず、インライン測定への組込みなどにも柔軟に対応できます。

【主な仕様】
◆ OPTED-L80（高深度タイプ）
・横方向測定範囲：300mm×300mm
・ワーキングディスタンス：140mm
・高さ方向測定範囲：最大130mm（±65mm）
・高さ方向繰返し精度：～10μm
・測定速度：ラインスキャン80mm幅、最速18mm/秒のステージ移動
　　　　　　※80mm四方のエリア計測が、最速5秒

OPTED-S30（高精細タイプ）
・横方向測定範囲：300mm×300mm
・ワーキングディスタンス：40mm
・高さ方向測定範囲：最大6mm（±3mm）
・高さ方向繰返し精度：～1μm
・測定速度：XYスキャン30mm四方、最速4秒
「OPTED」詳細：リンク

【ターゲット市場】
あらゆる製造業における三次元形状の測定・検査市場
・自動車・航空・宇宙関連の外装、エンジン部品、ドライブ・トレインなど
・金属やセラミック等を原料とした金型
・その他、樹脂、ゴム、ガラス、プラスチック、複合素材などを含む、精密加工品全般

【測定例】
◆大型バルブボディ部品の測定例（OPTED-L80）
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◆薄鉄板上の微小穴（OPTED-S30）

　　
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【展示会出展のご案内】
6月22日から開催される設計・製造ソリューション展の光コム社ブースにて実機を展示いたします。
会期　2016年6月22日（水）～24日（金）
　場所　東京ビッグサイト
　ブース　東5-17
　リンク

以下の概要で、技術セミナーも実施いたします。
　- 6月24日（金）11：00～12：00
　- テーマ：高速・非接触形状測定の実現とインライン化
- セミナー会場：東2ホール 2階会場2　リンク

東京エレクトロン デバイス株式会社について
東京エレクトロンデバイスは、半導体製品やITソリューション等を提供する「商社機能」と、お客様の設計受託や自社ブランド商品の開発を行う「メーカー機能」を有する技術商社です。
URL：リンク

株式会社光コムについて　
光コム社は、2002年創業以来、光コム発生器とその応用製品の開発・製造・販売を行っており、現在はこの光コム技術を応用した光コム測長計（光コム絶対距離計、光コム三次元形状測定器）を主軸に、産業界で新しい光計測事業を展開しています。
現在の産業界に求められる計測においては、年々その要求精度は増し、生産量の拡大により検査に要する時間は短縮の一途をたどっています。光コム測長計は、産業界が求めるこれらのニーズに応える革新的な計測システムとして、製造現場における多種多様な計測ソリューションを提供しています。
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＜本件に関する報道関係からのお問合せ先＞
東京エレクトロン デバイス株式会社　管理本部　広報・IR室　堀田・平
Tel：045-443-4005、Fax：045-443-4050
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＜本件に関するお客様からのお問合せ先＞
東京エレクトロン デバイス株式会社
インレビアムカンパニー　インレビアムマーケティング部　井上・森川
Tel：045-443-4034、Fax：045-443-4063
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