半導体自動特性評価ソフトウェアのパワー半導体デバイス評価、WLRテスト機能を強化

報道発表資料
2015年1月26日

ケースレーインスツルメンツ（代表取締役 木下 伸二、以下、ケースレー）は、本日、ACS（Automated Characterization Suite、半導体特性評価ソフトウェア）バージョン5.2を発表します。
エネルギー効率改善のニーズに伴い、発電、給電、電力消費に関連して新しい半導体技術の開発が進んでいます。炭化ケイ素（SiC）や窒化ガリウム（GaN）などの新しい材料を採用する場合、完全に商品化される前に研究／開発段階で新しい測定や詳細な特性評価が必要になります。このような新しい要求に応えるため、ACS最新リリース（バージョン5.2）では、半導体パワー・デバイスの開発／特性評価のための数多くのテスト、デバイス開発／プロセス品質改善のためのWLR（Wafer Level Reliability）テストをサポートします。この強化により、ソフトウェアの柔軟性が向上し、数多くのアプリケーションをサポートできるようになります。例えば、高電圧のC-V測定ライブラリが追加されました。このライブラリを使用することで、複数の端子を持つDUTの複数のキャパシタンスの値を含む、パワー半導体デバイスの詳細な特性評価が可能になります。
また、ACSのVDS WLRサンプル・プロジェクトでは、2657A型ハイパワー・システム・ソースメータ（SMU）のソース／シンクが3000Vまでサポートできるようになりました。これにより、ACSベースのシステムは2657A型を含むことができ、広範囲のテスト、DUTに対応できます。同じ目的のために、10kVの新製品2290型電源のサポートも追加されました。さらに、WLRテストのループ機能とグラフィカル・ユーザ・インタフェースも強化しており、シンプルなGUIで、より効果的なテストが行えます。テストの開発時間が短縮でき、さまざまなデバイスの信頼性テストが実行できるため、研究／開発の生産性が向上します。
2007年に発表されたACSは、半導体デバイスの特性評価、信頼性テスト、パラメトリック・テスト、コンポーネント機能テストのために設計された、柔軟性に富んだ、対話形式のソフトウェア・テスト環境です。対話形式によるマニュアルでの詳細測定から自動ウェハ・プローバによる測定まで、広範囲な事例に対応できるように設計されています。ACSは、ケースレーのS500シリーズ、S530シリーズ・パラメトリック・テスト・システムを含む、数多くのケースレー製品をサポートしています。

ACSソフトウェアとサポートする機器の詳細については、ケースレーのウェブ・サイト（リンク）をご覧ください

＜ケースレーインスツルメンツについて＞
ケースレーはテクトロニクス・ファミリーの一員であり、高性能製造テスト、プロセス監視、製品開発、研究を行う電子機器製造メーカ独自のニーズに対応した、最新の電気テスト機器／システムを提供しています。DC（直流）またはパルス状の電気信号のソース、測定、接続、制御、通信で使用される、500種類近くの製品をラインアップしています。ケースレーのお客様は、世界規模のエレクトロニクス業界の科学者／エンジニアが中心であり、最新の材料研究、半導 体デバイスの開発と製造、携帯無線デバイスなどの最終製品の製造に携わっています。詳しくはウェブ・サイト(リンク）をご覧ください。

＜お客さまからのお問合せ先＞
テクトロニクス／ケースレーインスツルメンツ お客様コールセンター
TEL 0120-441-046 FAX 0120-046-011 URL リンク

KEITHLEYは、Keithley Instruments, Inc.の登録商標です。本文に記載されているその他すべての商標名および製品名は、各社のサービスマーク、商標、登録商標です。