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半導体自動特性評価ソフトウェアのパワー半導体デバイス評価、WLRテスト機能を強化

ケースレーインスツルメンツ 2015年01月26日 12時12分
From Digital PR Platform


報道発表資料
2015年1月26日

ケースレーインスツルメンツ(代表取締役 木下 伸二、以下、ケースレー)は、本日、ACS(Automated Characterization Suite、半導体特性評価ソフトウェア)バージョン5.2を発表します。
エネルギー効率改善のニーズに伴い、発電、給電、電力消費に関連して新しい半導体技術の開発が進んでいます。炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)などの新しい材料を採用する場合、完全に商品化される前に研究/開発段階で新しい測定や詳細な特性評価が必要になります。このような新しい要求に応えるため、ACS最新リリース(バージョン5.2)では、半導体パワー・デバイスの開発/特性評価のための数多くのテスト、デバイス開発/プロセス品質改善のためのWLR(Wafer Level Reliability)テストをサポートします。この強化により、ソフトウェアの柔軟性が向上し、数多くのアプリケーションをサポートできるようになります。例えば、高電圧のC-V測定ライブラリが追加されました。このライブラリを使用することで、複数の端子を持つDUTの複数のキャパシタンスの値を含む、パワー半導体デバイスの詳細な特性評価が可能になります。
また、ACSのVDS WLRサンプル・プロジェクトでは、2657A型ハイパワー・システム・ソースメータ(SMU)のソース/シンクが3000Vまでサポートできるようになりました。これにより、ACSベースのシステムは2657A型を含むことができ、広範囲のテスト、DUTに対応できます。同じ目的のために、10kVの新製品2290型電源のサポートも追加されました。さらに、WLRテストのループ機能とグラフィカル・ユーザ・インタフェースも強化しており、シンプルなGUIで、より効果的なテストが行えます。テストの開発時間が短縮でき、さまざまなデバイスの信頼性テストが実行できるため、研究/開発の生産性が向上します。
2007年に発表されたACSは、半導体デバイスの特性評価、信頼性テスト、パラメトリック・テスト、コンポーネント機能テストのために設計された、柔軟性に富んだ、対話形式のソフトウェア・テスト環境です。対話形式によるマニュアルでの詳細測定から自動ウェハ・プローバによる測定まで、広範囲な事例に対応できるように設計されています。ACSは、ケースレーのS500シリーズ、S530シリーズ・パラメトリック・テスト・システムを含む、数多くのケースレー製品をサポートしています。

ACSソフトウェアとサポートする機器の詳細については、ケースレーのウェブ・サイト(リンク)をご覧ください

<ケースレーインスツルメンツについて>
ケースレーはテクトロニクス・ファミリーの一員であり、高性能製造テスト、プロセス監視、製品開発、研究を行う電子機器製造メーカ独自のニーズに対応した、最新の電気テスト機器/システムを提供しています。DC(直流)またはパルス状の電気信号のソース、測定、接続、制御、通信で使用される、500種類近くの製品をラインアップしています。ケースレーのお客様は、世界規模のエレクトロニクス業界の科学者/エンジニアが中心であり、最新の材料研究、半導 体デバイスの開発と製造、携帯無線デバイスなどの最終製品の製造に携わっています。詳しくはウェブ・サイト(リンク)をご覧ください。

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