ケースレーのパラメトリック・カーブトレーサが、 高電圧C-Vテストを含むウェハ・レベルのサポートを提供

2014年10月15日

ケースレーインスツルメンツ（代表取締役 木下 伸二、以下、ケースレー）は、本日、ハイパワー・ソースメータ（SMU）を含むパラメトリック・カーブトレーサ（PCT）の機能拡張を発表します。パワー半導体のテスト・システムを構築するテスト・エンジニアのために開発されたケースレー8020型ハイパワー・インタフェース・パネルはコネクティビティが向上し、高電圧C-V（容量－電圧）などの複雑な測定が容易に行えます。8020型を使用することで、セットアップ時間を短縮して接続ミスを防ぐことができます。それによって作業効率の改善やテスト・ハードウェアの保護ができるため、確実な測定結果が得られます。詳細については、製品の紹介ビデオ（英語）　リンク" target="_blank"リンク>　をご覧ください。

パワーMOSFET、IGBT、ダイオードなどのパワー半導体デバイスの特性を評価するには、オンステート（大電流の電流－電圧）、オフステート（高電圧の電流－電圧）、高いバイアス電圧における容量－電圧（C-V）など、さまざまな測定を行います。しかし、それぞれの測定には、異なったケーブル、コネクタ、プローブ（ウェハ・レベルのテストの場合）またはテスト・フィクスチャ（パッケージ・デバイスの場合）が必要になります。

従来、この3種類のテストを行うための、ハイパワー機器、インターコネクト、プローバ／テスト・フィクスチャを1つのテスト・ステーションに組み合わせた、標準化されたソリューションは販売されていませんでした。1つの測定から別の測定に変更する場合、ハイパワー・テスト・システムのユーザは、手作業で別なケーブルに交換し、被測定デバイスとテスト機器間の信号経路にある重要なハードウェアも交換する必要がありました。高電圧C-Vテストは、標準の、または信頼性のある測定セットアップ／手法が確立されていないため、特に複雑でした。テスト・エンジニアは、試行錯誤しながら独自の接続ソリューションを開発しなければなりませんでした。これは費用や時間がかかるだけでなく、パワー・デバイスのテストで高電圧出力になるため、安全性に欠ける作業環境になることがあります。

8020型ハイパワー・インタフェース・パネルは、システムのプローブ・ステーション、ポジショナ、またはフィクスチャに合ったオプションを選択することができます。また、ユーザ、ローパワーのソースメータの両方の安全性が向上し、さまざまな計測器の組み合わせが簡単に行えます。さらに、信号経路への直列抵抗やバイアス・ティーなどの追加が簡単に行えます。

8020型を使用すると、すべての計測器を一度に接続できるため、測定から測定への変更が簡単になり、接続を変更する必要がありません。システムの3kVおよび200VチャンネルでオプションのC-Vバイアス・ティーと組み合わせると、高性能のI-V／C-Vスイッチとして機能するため、ケーブリングし直すことなくI-V、C-Vテストの両方が行えます。

8020型は、入力としてケースレーの2657A型（3kV）および2651A型（50A）ハイパワー・ソースメータ、2636B型および2612B型ソースメータ、PCT-CVU型マルチ周波数C-Vメータが接続できます。さまざまなユーザ設定の出力コネクタが利用でき、ほとんどすべてのプローブ・ステーションが接続できます。

PCT-CVU型マルチ周波数C-Vメータは10kHzから2MHzまでのC-V測定に対応しており、ケースレーのPCTにアップグレードすることで、2または3端子の容量測定が行えます。8020型は、新製品のCVU-200-KIT型バイアス・ティー・キットと組み合わせて使用するように設計されており、バイアス電圧を200Vまで拡張できます。CVU-3K-KIT型バイアス・ティー・キットを使用すれば3kVまで拡張でき、8010型または他のハイパワー・テスト・フィクスチャにおいてACとDCの両方のテストに対応できます。
ケースレーのACS Basicエディション・コンポーネント・テスト・ソフトウェアの最新バージョン（V 2.1）を使用すると、パワーMOSFET、ダイオードなどのデバイスのI-V、C-V測定がサポートできるようになります。8020型と新製品のバイアス・ティー・キットによる拡張C-V測定が補完できます。


＜販売開始＞ 本日より

＜製品価格＞
2600-PCTシリーズ　パラメトリック・カーブトレーサ 　 218万円（税抜）より
8020型　ハイパワー・インタフェース・パネル　 　　　50万8千円（税抜）より

＜ケースレーインスツルメンツについて＞
ケースレーはテクトロニクス・ファミリーの一員であり、高性能製造テスト、プロセス監視、製品開発、研究を行う電子機器製造メーカ独自のニーズに対応した、最新の電気テスト機器／システムを提供しています。DC（直流）またはパルス状の電気信号のソー ス、測定、接続、制御、通信で使用される、500種類近くの製品をラインアップしています。ケースレーのお客様は、世界規模のエレクトロニクス業界の科学者／エンジニアが中心であり、最新の材料研究、半導 体デバイスの開発と製造、携帯無線デバイスなどの最終製品の製造に携わっています。詳しくはウェブサイト(リンク）をご覧ください。

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