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産総研とSII、超高密度100GB光ディスク原盤の形状検査装置を開発

2003/07/11 18:26
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 独立行政法人産業技術総合研究所(産総研)近接場光応用工学研究センターとセイコーインスツルメンツ株式会社は7月11日、世界で初めて光ディスク原盤や光ROMディスクを光で検査し、エラーピットをナノメーターレベルの精度で形状測定できる精密ピット計測装置の試作に成功したと発表した。

 この装置は、特定ピットの選別を光で行ない、位置を特定すると、該当部分の形状を原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)で観察するもの。AFMの探針部分には、長さや形状などを最適にしたカーボンナノチューブ(Carbon Nano Tube:CNT)探針を使用しており、形状測定における高精度や高耐久性を実現した。

 この装置を使えば、今まで不可能でだったエラー信号とピット形状の相関が明らかとなる。また、簡単に高精度での光ディスク原盤や光ROMディスクの検査ができるようになり、超高密度100GB容量の光ディスク原盤開発や光ROMディスク生産行程への適用が可能としている。現在の光ディスク原盤や光ROMディスクのピットサイズは最小400ナノメートルだが、100GB光ディスク原盤では、ピットサイズは数10ナノメートルとなり、1ナノメートル程度の精度でピットを作製する必要があるという。

独立行政法人 産業技術総合研究所のプレスリリース

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